반도체 화학 분석의 기준: 미세 결함 및 실시간 공정 모니터링
Fuel/Battery, Agricultural & Environmental
·In-situ FTIR Analysis ·In-situ Raman Analysis ·In-situ UV Analysis ·FTIR Spectroscopy ·FTIR Microscopes ·Raman Microscopes ·UV-Vis/NIR Microscopy
Semiconductor Innovation | 반도체 화학적 정성/정량 및 미세 결함 분석
단일 나노미터 공정과 3D 패키징 시대, 극한의 화학물질 순도 제어와 실시간 공정분석기술(PAT)은 반도체 수율의 핵심입니다. JASCO의 정밀 분광 솔루션(FTIR, Raman, UV-Vis-NIR)은 실시간 화학 변화를 추적하는 PAT의 중추로서, 수율 저하의 치명적 원인인 초미세 유기 이물질 및 불량 계면을 비파괴 방식으로 완벽하게 규명합니다.
왜 JASCO의 정밀 분광 솔루션인가?
수율 저하의 원인을 파악하기 위해서는 눈에 보이지 않는 초미세 영역의 화학적 성분을 정확히 짚어내야 합니다. JASCO는 화학적 매핑과 실시간 추적을 통해 분석의 사각지대를 완벽히 제거합니다.
- 초미세 결함 핀포인트 분석: FTIR 현미경은 최소 8µm, 라만 현미경은 최소 500nm 크기의 극미세 이물을 정확히 타겟팅하며, 방대한 내장 스펙트럼 라이브러리를 통해 이물의 정확한 화학적 성분을 즉시 도출합니다.
- 실시간(In-situ) 구동 분석: 특수 In-situ 셀을 장착하여 온도, 외부 압력, 전압 변화 등 실제 가혹한 공정 환경에서 일어나는 화학적 반응 거동을 실시간으로 분석합니다.
Core Capabilities of JASCO Spectroscopy
| Comparison of Precision Spectroscopy Techniques | |||
| Feature | FTIR Microscope | Raman Microscope | UV-Vis-NIR Microscope (MSV) |
|---|---|---|---|
| Target Resolution | 최소 8µm 극미세 이물 타겟팅 | 최소 500nm 극미세 이물 타겟팅 | 10 µm 수준의 극미세 빔 지원 |
| Key Analysis | 유기 이물질 및 정확한 화학적 성분 도출 | Chemical Mapping & 3D Depth Profiling | 차세대 반도체 소재의 광학적 밴드갭 및 박막 두께 정밀 평가 |
| Major Advantage | 방대한 스펙트럼 라이브러리를 통한 즉각적 성분 규명 | 웨이퍼 절단 없이 HBM 등 패키징 내부 2~3µm 미세 접착층 확인 가능 | 3D 맵핑(Mapping)을 통한 초미세 회로 패턴의 코팅 균일성 및 국소적 결함 시각화 |
| Process Integration | 단일 나노미터 공정 및 3D 패키징 수율 극대화를 위한 PAT 최적화 | ||
Advanced Process Analytical Technology
1. FT-IR Spectroscopy 8X & In-situ Analysis
특수 환경 제어 셀(가열/진공/전기화학)과 결합하여 반도체 제조 공정 중 발생하는 화합물의 실시간 반응 메커니즘을 분석합니다. 압도적인 신호대 잡음비(S/N)와 Rapid Scan 기능을 통해 찰나의 화학적 변성까지 놓치지 않고 포착하여 최적의 공정 조건을 도출합니다.
FT-IR 8X 솔루션 자세히 보기 →2. Chemical Mapping & 3D Depth Profiling
"비파괴 방식의 다층(Multi-Layer) 구조 완벽 해부"케미컬 매핑을 통해 폴리머의 경화율(Curing rate)과 성분 분산도를 시각화하며, 다층(Multi-Layer) 구조의 층별 성분을 해부합니다. 특히 라만(Raman)의 3D 공초점(Confocal) 기술을 활용하면 웨이퍼를 절단하지 않고도 상태를 꿰뚫어 볼 수 있어 획기적인 분석 프로세스를 제공합니다.
Raman 솔루션 자세히 보기 →3. Microscope UV/Vis/NIR Spectrometer
"차세대 반도체 소재의 광학적 밴드갭 및 박막 두께 정밀 평가"JASCO MSV-5000 Series는 자외선부터 근적외선(UV-Vis-NIR) 전 영역을 아우르는 광대역 측정을 지원하는 하이엔드 현미경 분광광도계입니다. 10 µm 수준의 극미세 빔과 초정밀 자동 스테이지가 결합된 3D 맵핑(Mapping) 기술을 통해, 초미세 회로 패턴의 코팅 균일성과 국소적 결함을 완벽하게 시각화합니다.
- 주요 활용 분야: 차세대 반도체 및 디스플레이 소재, 인시추/오페란도(In-situ/Operando) 전기화학 분석, 첨단 광학 및 바이오센싱 소자
Application: In-situ 및 가스 정밀 농도 모니터링
JASCO의 분석 플랫폼은 실제 공정 환경에서의 화학 변화를 실시간으로 추적합니다. 온도 변화 및 미세 가스 농도를 정교하게 확인하여 반도체 불량 원인을 원천 차단합니다.
[Study 1] Gas Cell을 이용한 정교한 농도 확인
Gas cell을 이용하여 반도체 반응 후 발생하는 화합물의 ppm 단위 극미량 농도까지 정교하게 확인하고 모니터링합니다.
[Study 2] 고온 변화에 따른 FT-IR 신호 확인
극단적인 환경 조건 시뮬레이션을 위해 최소-150도에서 최대 1000도까지의 온도 변화에 따른 FT-IR 신호 거동을 실시간으로 확인하여 완벽한 공정 데이터를 제공합니다.
(주)티에스싸이언스는 JASCO의 첨단 기술력을 바탕으로 국내 반도체 산업의 글로벌 수율 경쟁력 확보를 지원합니다.
초미세 결함 분석 및 실시간 공정 솔루션이 필요하시다면 지금 바로 기술영업부로 문의하십시오.
